光學(xué)所積極推進(jìn)《相移式激光平面干涉儀》國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范制定工作
上傳日期:2019-06-25
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自承擔(dān)《相移式激光平面干涉儀》國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范的制定任務(wù)以來,中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院光學(xué)研究所作為主要校準(zhǔn)規(guī)范制定單位,在完成校準(zhǔn)規(guī)范文本制定后,亟需用科學(xué)可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)來對(duì)其支撐。5月26日至29日,由光學(xué)所領(lǐng)導(dǎo)帶隊(duì)一行三人前往蘇州,參加由中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院等單位和國(guó)內(nèi)該設(shè)備生產(chǎn)企業(yè),聯(lián)合組織的相移式激光平面干涉儀平面度量值比對(duì)實(shí)驗(yàn)。最終實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)滿足所制定的國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范要求?!断嘁剖郊す馄矫娓缮鎯x》國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范的制定工作,為平面度量值傳遞由平面抽樣點(diǎn)擬合平面測(cè)量向平面度絕對(duì)面形測(cè)量,由人眼手動(dòng)測(cè)量向自動(dòng)化測(cè)量提供了技術(shù)支持,為我國(guó)平面度量值傳遞技術(shù)的提升作了階段性的基礎(chǔ)工作。
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